Elaboration, caractérisation structurale et luminescence de dépôts ...
de dépôts AlN dopés Er obtenus par PVD magnétron RF. Introduction générale p
. 5 ..... électrique pour le "packaging" de composants dans des circuits
électroniques intégrés de haute puissance [22 23]. Ce très large gap ...... les
auteurs Powell, Oxley et Blocher dans leur livre en 1966 [7]. De nos jours, les
techniques. PVD ...
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