de dépôts AlN dopés Er obtenus par PVD magnétron RF. Introduction générale p
. 5 ..... électrique pour le "packaging" de composants dans des circuits
électroniques intégrés de haute puissance [22 23]. Ce très large gap ...... les
auteurs Powell, Oxley et Blocher dans leur livre en 1966 [7]. De nos jours, les
techniques. PVD ... 
